Новые сенсоры MEMBRAPOR AsH3 / C-1 и AsH3 / M-1

MEMBRAPOR представляет AsH3 / C-1 и AsH3 / M-1 чрезвычайно высокочувствительных датчика, которые позволяют измерять высокотоксичный газ арсин в диапазоне частей на миллиард. Обычный технический продукт в полупроводниковой промышленности. Арсин используется в качестве легирующего газа в больших масштабах и в значительных количествах в контексте термического легирования кремния в процессе диффузии и ионной имплантации. Для обеспечения безопасности все процессы необходимо контролировать и контролировать с помощью электрохимических датчиков Арсина.