4CL2-5(10)(50) - Электрохимические датчики хлора (Cl2) SemeaTech для полупроводниковой промышленности.

        Компания SemeaTech представляет, новые, электрохимические датчики 4CL2-5(10)(50) 4-й серии, разработанные для управления процессами производства полупроводников. Эти датчики, предназначенные в первую очередь для выявления утечек газа в полупроводниковой промышленности, особенно на этапах термического окисления и сухого травления при изготовлении микросхем. Датчики отличаются значительно улучшенным разрешением, долгосрочной стабильностью, селективностью и удельным сопротивлением, что соответствует строгим требованиям полупроводниковой промышленности. Чтобы обеспечить бесперебойные измерения, они обладают способностью эффективно противостоять высыханию и сбоям при различных внешних воздействиях.

Характеристики:

Название	4CL2-5(10)(50)
Производитель	Semeatech
Основной газ	Хлор CL2
Тип измерения	электрохимический
Диаметр, мм (типоразмер)	20
Диапазон	Хлор CL2 0 - 5ppm; 0 - 10 ppm; 0 – 50 ppm;
Чувствительность / выходной сигнал	-0.75 ± 0.15 μA/ppm
Время отклика t90	30 sec.
Энергопотребление	0-0
Температурный диапазон	-20C°.. +50C°

Подробное описание: Скачать