Название7PH3-5
ПроизводительSemeatech
Основной газФосфин PH3
Тип измеренияэлектрохимический
Диаметр, мм (типоразмер) 31.5
Диапазон
0 - 5 ppm
Чувствительность / выходной сигнал 2.0 ± 0.5 μA/ppm
Время отклика t90 30 sec.
Энергопотребление 0-0
Температурный диапазон -20C°.. +50C°